光学式计量仪器
时间:2020-12-23 来源:计量校准 点击:次
光学式计量仪器
1.望远系统的光学式量仪
如平行光管、准直仪和以准直系统为主的光学计等
2.显微系统的光学式量仪
属于这类的有工具显微镜、测长机、测长仪、光学分度头等
3.投影系统的光学式量仪
所有型号和规格的投影仪都属于这一类
这类仪器中有复现长度基准光波的绝对光波于涉仪,还有作为其他用途的干涉仪。如接触式干涉仪、干涉显微镜,干涉小孔测量仪等。由于这类量仪以光波作为测长的基准,所以它们的准确度在光学式量仪中最高。
5.光栅、激光原理的数显式光学量仪
这类量仪依靠近期发展起来的光栅、激光新技术,与现代的光、机、电综合应用技术相结合,实现了测量的数字化和自动化。如光式三坐标测量机、光式光学分度头、光电光波比长仪、激光量块干涉仪等。
光学式量仪的优点是准确度高,性能稳定,测量方式灵活,加上仪器的配套附件比较齐全,所以适应的测量对象比较广泛。在整个量仪体系中,光学式量仪一直占有十分重要的地位,缺点是制造成本高,要求环境条件(如度、温度、防尘防震)较严,因此在生产车间里很少采用,多用在计量部门的精密测量和量值传递上。